2019年度の品川区産業活性化支援事業助成金を2019年7月に申請し、9月に交付の承認を頂きました。
事業提案は「MEMS圧力センサ活用の密閉度検査装置の開発・設計構想」でMEMSの特徴である、極小サイズおよび高分解能を生かし新機軸の漏れ検査方式の開発にチャレンジします。
(MEMS-Micro Electro Mechanical Systems機械要素部品、センサ、電子回路等をlつの基板に乗せて集積しているデバイス)

本事業は2020年3月3日に報告書を品川区に提出しすべて完了致しました。
MEMS圧力センサの感度は非常に良いことから微細な圧力変化が捉えられました。
この事業を通じて得られたデータならびに知識を新たな検査装置設計に結びつける計画です。